型号:HR 800 显微激光拉曼光谱仪
一、主要功能及技术参数
1. 对试样在200-1600nm段进行拉曼光谱测试。应用相应分析软件可进行数据处理,利用数据库软件进行图谱检索、图谱分析、图库管理等。
2. 光谱范围:400nm-1050nm,可以扩展至200-1600nm;
光谱分辨率:用1800gr/mm的光栅在633nm处0.35cm-1/像元,可见全谱段≤0.65cm-1;
空间分辨率:采用针孔共焦技术,激光光斑直径横向小于1微米,纵向分辨率好于2微米;
光谱重复性:≤±0.2cm-1;灵敏度:硅三阶峰的信噪比好于10:1,并能观察到四阶峰。
二、操作规程
1. 仪器需配置专用不间断交流电源。如果仪器处于长期不使用状态,请断开电源线与仪器的连接。
2. 依次打开仪器主机电源开关、计算机电源开关、激光器开关、CCD电源开关,最后打开软件。
3. 将CCD检测器温度降至-700C。
4. 仪器矫正:
4.1 将标样(单晶硅片)置于载物台进行聚焦:选物镜,点击Video图标,在on状态下,打开激光,在控制面板选fliter衰减模式,旋转载物台螺母粗聚焦、旋转操纵杆螺母细聚焦,点stop。
4.2 在控制面板输入参数:选激光器(laser),聚焦孔径(hole),当光栅选用600时,摄谱仪中心值为1000,而用1800光栅时,其值为520,输入结束按回车键。在off状态下,实时采谱(RTD),点击stop。
4.3 点击工具栏中peak searching and fitting,将选项Search、Approx 和fix选中,比较峰值520.7cm-1,若相差太远,点击setup菜单中第一项,改变Zero数值(偏大,改大;偏小,改小),点击OK,再次重复4.2操作,直至可接受即可。
5. 设置实验参数: 光谱范围、曝光时间、累计次数等。
6. 测量: 放置试样于载物台,聚焦,采集数值;光谱处理。
7. 测试结束后,先将CCD检测器的温度升高至200C,关闭软件和激光,再关计算机和CCD电源开关,最后关主机电源开关。
三、注意事项
1. 仪器必须在室温、干燥、清洁的环境中使用,室内温度250C左右,室内挂遮光窗帘。
2. 在测量时,需关闭日光灯。
3. 警防样品荧光过强而烧坏CCD监测器,故测试强度需在4万以下。
4. 测量时需防震动。